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本款水冷变压器为半导体工艺场景定制，输入三相 380V，输出三相 20V 低压大电流，采用水冷循环散热结构。针对半导体制造严苛供电需求设计，绕组选用高导电紫铜排，可稳定输出大电流，搭配闭环水冷换热系统，有效控制满载温升。设备具备良好电磁隔离能力，抑制电网谐波、电压波动干扰，保障半导体制程电源一致性，适配晶圆制造、半导体刻蚀、镀膜、离子注入等精密工艺供电，支持长时间连续稳定运行，可按客户工况定制容量、接口及保护配置。
1、半导体工艺设备需要低压超大电流持续供电，普通风冷变压器在大电流工况下铜损高、发热量大，温升超标，容易出现输出压降大、电流不稳，影响芯片加工良率。 2、洁净车间环境对设备噪音、粉尘、散热空间有严格限制，风冷风机易产生粉尘、噪音，占用更大机房空间，功率密度低。 3、半导体产线对电源洁净度要求高，电网谐波、浪涌容易串入工艺回路，造成精密设备误动作，影响制程稳定性。 4、长时间 24h 不间断连续生产，普通变压器长期满载易老化，温度漂移会造成输出参数偏移，缺少可靠温控监测方案。 5、洁净厂房空间宝贵，常规变压器体积偏大，不利于产线机柜集成布局。
输入电压：三相 380V 50/60Hz 输出电压：三相 20V，低压大电流输出 冷却方式：水冷循环散热（适配去离子冷却水） 绕组材质：T2 紫铜排 绝缘等级：F/H 级可选 运行模式：24h 连续工作制 附加配置：温度监测、超温保护、漏水监测接口，可按需定制 适用环境：半导体洁净车间
1、水冷换热设计，散热效率远高于风冷，大电流工况下温升控制稳定，功率密度更高，设备体积紧凑，适合洁净车间机柜集成。 2、次级采用加厚紫铜排绕组，绕组直流电阻低，满载电压降小，大电流输出持续稳定，保障半导体工艺参数一致性。 3、电磁隔离结构，有效阻隔电网谐波、电压尖峰与浪涌干扰，净化供电电源，降低精密半导体设备受电网扰动风险。 4、支持全天候不间断连续运行，配套温度采集、超温保护、漏水预警接口，便于接入产线中控系统，实时监控设备状态。 5、整机无风机结构，运行噪音低，不会产生粉尘，满足半导体洁净车间环境管控要求。 6、可根据半导体产线实际负载定制容量、进出水接口规格、保护功能，适配不同工艺设备配套需求。
半导体晶圆制造产线、半导体刻蚀设备供电、薄膜沉积镀膜设备、离子注入工艺配套、半导体材料热处理设备、半导体器件测试平台、芯片封装工艺电源、实验室半导体工艺研发设备、精密低压大电流工艺电源配套、洁净车间大功率工艺电源系统。
